当前位置:首页 > TAG标签:同质 总共有 1 条记录
  • 武汉工程大学UPHT钻石衬底PECVD法同质外延生长单晶钻石

    武汉工程大学UPHT钻石衬底PECVD法同质外延生长单晶钻石

    作者:严垒,马志斌,陈林,付秋明,吴超,高攀 (武汉工程大学材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,湖北武汉430073) 利用微波等离子体化学气相沉积(PECVD)法在高温超高压(UPHT)下制备的单晶片上进行单晶钻石同质外延生长,研究了甲烷...

    科技快报编审: 一代传媒

    0 2021-02-25

热门文章