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  • 武汉工程大学UPHT钻石衬底PECVD法同质外延生长单晶钻石

    武汉工程大学UPHT钻石衬底PECVD法同质外延生长单晶钻石

    作者：严垒，马志斌，陈林，付秋明，吴超，高攀 (武汉工程大学材料科学与工程学院，湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，湖北武汉430073) 利用微波等离子体化学气相沉积(PECVD)法在高温超高压(UPHT)下制备的单晶片上进行单晶钻石同质外延生长，研究了甲烷...

    科技快报编审: 一代传媒

    0 2021-02-25

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