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武汉工程大学UPHT钻石衬底PECVD法同质外延生长单晶钻石

作者：严垒，马志斌，陈林，付秋明，吴超，高攀 (武汉工程大学材料科学与工程学院，湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，湖北武汉430073) 利用微波等离子体化学气相沉积(PECVD)法在高温超高压(UPHT)下制备的单晶片上进行单晶钻石同质外延生长，研究了甲烷...

科技快报编审: 一代传媒

0 2021-02-25
英国伦敦大学使用UPHT钻石衬底生产珠宝级PECVD钻石

2004 年，英国伦敦大学学院的 Williams OliverA 和 Jackman Richard B[25] 在没有人为掺入N 2 的情况下，使用 MPCVD 法获得了高质量的单晶PECVD钻石，沉积速率达到 50 m/h 。 2012 年，美国密歇根州立大学的 Gu Yajun 等人 [26] 设计了适用于高气压、高...

科技快报编审: 一代传媒

0 2021-02-17

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