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  • 基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法

    基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法

    近日，国际标准化组织（ISO）正式发布了微束分析领域中的一项国际标准：基于测长扫描电镜的关键尺寸评测方法（Microbeam analysis Scanning electron microscopy Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466)），该标准由中国科学技术...

    技术新知编审: 科技快讯

    0 2020-03-07

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